精密仪器（如光学检测仪器、半导体光刻机、激光测量设备）的耐热结构件，是保障仪器精度的核心环节 —— 以光学检测仪器的镜片支架为例，其需在 50℃-200℃的工作温度区间内固定镜片位置，若支架因温度变化出现微小变形，就会导致光路偏移，影响检测精度；半导体光刻机的

精密仪器 结构件 膨胀系数 haynes150 耐热结构件 2025-08-27 09:25  3